高精度仪器在芯片制造中的作用

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 芯片制造是精细活,全靠高精度仪器把关。光刻机要把电路图印在硅片上,精度得到纳米级,相当于在一根头发丝上刻几百条线;离子注入机控制掺杂的剂量,多一点少一点,芯片性能就差远了。上海的芯片厂说,厂里最金贵的就是这些高精度仪器,一台的价格能买几十辆豪车。

这些仪器得 24 小时伺候。温度、湿度、振动都得严格控制,车间里的空气比手术室还干净,不然一粒灰尘落到硅片上,整批芯片都可能报废。维护这些仪器的技术员,年薪几十万都抢着要,因为技术太难、太专。
高精度仪器是芯片制造的 “卡脖子” 设备,现在国内企业都在努力研发,争取做出自己的高端仪器,不用再看别人脸色。